| 平成１４年 ９月 ２日 | |
| プラズマ発生用マイクロ波電源のソリッドステート化に成功 | |
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半導体製造装置に用いられているプラズマ発生用マイクロ波電源は、現在マグネトロン方式が主流ですが、長野日本無線株式会社は長年培った通信技術等を生かしてソリッドステート化したマイクロ波電源の開発に成功しました。 ソリッドステート方式は従来のマグネトロン方式に比べ、出力および周波数の安定度が飛躍的に向上し、半導体製造装置の核であるプラズマを安定して発生させることが出来ます。従って、歩留まりの向上および半導体製品の微細化促進に大幅な貢献が見込まれます。 又、従来の方式ではマグネトロン自体を、定期的に交換する必要があり、その際にはラインを止めなければなりませんでした。これに対しソリッドステート方式は部品交換の必要が無く、大幅なメンテナンス性の向上を図る事が可能となります。 更に、製品価格につきましても装置に使用している主要半導体のコストダウンをはじめ、低価格化が見込まれます。 このように、ソリッドステート化したマイクロ波電源は、性能面と生涯コストの両面より、今後半導体製造装置の市場において主力製品になるものと思われます。 長野日本無線は従来から蓄積してきた、高周波回路技術、電源技術、制御技術等に加え、通信用高出力半導体利用技術や衛星搭載機器で培った信頼性技術を組み合わせ、世界的な半導体製造装置メーカーである東京エレクトロンとの共同開発により半導体製造装置への応用技術開発に成功し、ソリッドステート方式の先駈け企業として地位確保に先鞭をつけたものと言えます。 製品としては、多様化する顧客ニーズに応えられるよう、出力が８００Ｗ〜３ＫＷのシリーズ化を目指しております。 これら製品シリーズは、東京エレクトロン株式会社からも注目されており、今後は製品化に向けて一部共同開発を行い、早期の製品化実現を目指していく予定です。 なお、本製品は『ＶＡＣＵＵＭ２００２−真空展』に新たに開発した、小型マッチャーと共に展示します。 （２００２年９月１１日〜１３日 東京ビックサイト） |
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