大気圧プラズマ処理装置 |
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| ＜高周波ソリッドステート電源、自動整合器、プラズマトーチなど、特許出願中＞ NJZ-2620 |
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| 新開発のプラズマトーチ搭載により ＊ 大気圧下での処理が可能 ＊ 表面処理＆内面処理に対応 ＜ 親水性・接着性の向上、有機物洗浄 ＞ |
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| スポットタイプトーチ | チューブタイプトーチ | X-Yステージ | |||
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| 特 徴 |
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素材に優しく、安定したプラズマ（低温・高反応性 ＆ 高精度制御） ＜2.45GHzソリッドステート電源＞ 低温プラズマにより、熱に弱い樹脂にダメージを与えず処理が可能 高反応性プラズマを発生可能なため、処理時間を短縮可能 高精度なオートパワーコントロール制御により、安定した電力供給を実現 ＜高性能自動整合器＞ 独自アルゴリズムの採用により、大気圧下での高精度な制御を実現 |
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新開発のプラズマトーチ（プラズマヘッド） 超小型ヘッドで冷却装置不要なため、既存設備にも設置が容易 スポットタイプトーチは、必要な箇所のみのプラズマ処理が可能 チューブタイプトーチは、チューブの内部で直接プラズマ発生し、金属汚染のない処理を実現 |
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大気圧下で処理が可能 大気圧環境下でプラズマ発生が可能なため、従来の真空チャンバー内処理のような大がかりな設備が不要。これにより、生産工程へのインライン化が容易に実現可能 |
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環境に優しい表面処理 薬剤使用で発生する廃液の処理が不要 洗浄・乾燥工程等が不要なため、工程を大幅に簡素化し処理時間を短縮 |
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多様な処理ニーズに対応 既存設備内へ設置可能な標準仕様の他、試験・少量生産用のX-Yテーブルからライン設備まで お客様の処理素材、生産ラインに応じた設備のカスタマイズが可能 |
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| プラズマ処理効果 |
| アルミ | ガラス | PBT | PP | ポリイミド | |
| 処理前 |  |
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| 処理後 |  |
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| NJZ-2620の主な仕様 |
| 項目 | 仕様 | |
| 用途 | 親水性向上、接着性向上、有機物洗浄 | |
| 処理可能素材 | スポット型 | 樹脂、ガラス、金属 |
| チューブ型 | 樹脂、ガラス等の非金属 | |
| プラズマ処理範囲 | スポット型 | φ１０mm |
| チューブ型 | 〜φ４mm（外径） | |
| 使用ガス（標準） | 系統数 | ２ |
| 種類 | アルゴン、酸素 | |
| 流量 | ｍａｘ １０Ｌ／ｍｉｎ | |
| プラズマ発生電源 | ２４５０ＭＨｚ | |
| １０〜１５０Ｗ | ||
| 入力電圧 | 単相 ＡＣ１００Ｖ／２００Ｖ、５０／６０Ｈｚ | |
| 消費電力 | ８００Ｗ以下 | |
| 冷却方法 | 強制空冷（トーチは自然空冷） | |
| 寸法（突起部分は除く） | ３１８（W）×６９３（D）×５８０（H）ｍｍ（制御部） | |
| ３０（W）×３０（D）×５２（H）ｍｍ（プラズマ発生部） | ||
| 重量 | ６５ｋｇ以下（制御部） | |
| ※ 製品の仕様・外観などは、改良のため予告無しに変更することがあります。 |
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